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當前位置：首頁產品中心測溫儀半導體&薄膜測溫Sekidenko OR400M半導體外延片測溫儀

Sekidenko OR400M半導體外延片測溫儀
產品簡介：

Sekidenko OR400M半導體外延片測溫儀產品系列的應用范圍擴展至3.3um-5.2um的中紅外波長范圍。OR400M可進行單通溫度測量，用于半導體設備的高精密溫度測量，用于硅片，腔室的精確測溫。OR400M支持RS-232和模擬數據接口。OR400M設計緊湊，易于集成，可滿足許多工藝應用的要求。

產品廠地：上海市

更新時間：2025-03-18

廠商性質：代理商

訪問量：1088

服務熱線

021-52966696

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產品介紹

OR400M外延片測溫儀

主要特性

優點:

  • 溫度范圍為50℃C至1300℃

  • 讀取速率高達250Hz

  • 單通道配置可選/固定發射率

  • 高速、固態檢測器

  • 可配置的過濾器、檢測器和光學傳輸系統

  • RS-232連接模式


應用：

  • 適用于半導體外延，太陽能薄膜和玻璃類工藝


技術參數：

通道配置:帶可選/固定發射系數的單通道溫度測量
測溫范圍:50-1300℃
測溫波長:3.3 和 5.2 um
讀取速率:高達250 Hz
測量精度:±3℃℃
重復精度:±0.1℃℃，正常情況下
分辨率:0.01°C
顯示:無，可通過RS232設置
數據I/O:US232,可達115kB
模擬輸出:0-10V或4-20mA
電源:交流:90 to 263 VAC,47 to 63 Hz直流:24V DC
環境參數:18-40℃，非冷凝
物理尺寸:32 mm (H)x 57 mm (W)x 235 mm (D)
重量:0.39kg
安裝:框架安裝、安裝孔安裝等








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